8인치 GaN 에피웨이퍼 생산장비 가동
국내 최초 도입, 전력공급 효율성 향상

[전기신문 윤병효 기자] 배터리 활성화 장비 전문기업인 에이프로가 사업다각화로 추진 중인 반도체 사업에 속도를 높이고 있다.

에이프로는 반도체 계열 자회사인 에이프로세미콘이 지난 8월부터 유기 금속 화학 증착법(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) 장비 가동을 본격화했다고 12일 밝혔다.

이 장비는 반도체 생산의 기초가 되는 에피웨이퍼를 생산하는 장비로, 8인치 양산장비로서는 국내 최초 도입으로 알려진 바 있다.

에이프로 측에 따르면 현재 시제품 웨이퍼 생산이 광주 본사 및 파운드리를 통해 성공적으로 완료됐다.

송현돈 에이프로세미콘 기술연구소 이사는 “개발된 8인치 GaN 에피웨이퍼는 파운드리에서 요구하는 품질 및 균일도, 수율 등의 사양을 모두 만족한 수준이다. 현재까지 100% 해외 수입해왔던 것을 자체 생산한 제품으로 대체함으로써 GaN 전력반도체 제품의 생산성 및 가격경쟁력을 확보할 수 있을 것”이라며 전기차 등 GaN 전력반도체 응용분야 확대를 위해 고출력-고전류 설계를 추진 중이라고 밝혔다.

에이프로는 양산 GaN 전력반도체를 현재 생산하고 있는 이차전지 활성화 장비에 우선 적용해 더욱 효율적으로 전력을 공급하고 공간 대비 생산성도 높일 계획이다. 또한 이차전지 외에도 다양한 분야에 적용해 사업다각화에도 힘을 줄 계획이다.

한편 에이프로는 지난해 말 종속회사인 에이프로파트너스를 설립, 기술 개발 외에도 신수종사업 발굴 등을 위해 적극적으로 나서고 있다. 최근 에이프로파트너스는 모태펀드에서 조성한 소부장 전문펀드에 총 20억원의 자금을 출자했다. 또한 연내 소부장 전문 벤처캐피탈들이 에이프로세미콘에 대한 투자도 검토중인 것으로 전해졌다.

에이프로 관계자는 “소부장 대표 기업으로 거듭나기 위해 기존 사업 외에도 신규사업을 적극적으로 추진하고 있다”며 현재 추진중인 신규사업에 대해서는 “빠른 시일 내 시장에 진출해 기업 가치를 제고할 수 있도록 노력하겠다”고 말했다.